VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
1
(analyzed polished surface as rec'd)
NORM
REGULAR
9
0
0
0
0
0
9
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
31
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
2048
53
93377
0.0603073
0.288006
8379
0.288006
8183
0.287198
7954
0.286393
7962
0.285593
7661
0.284797
7608
0.284004
7606
0.283215
7438
0.28243
7485
0.281648
7306
0.280871
7481
0.280097
7752
0.279326
7907
0.278559
8005
0.277796
7991
0.277037
8453
0.276281
9101
0.275528
9781
0.274779
10460
0.274034
11426
0.273291
12423
0.272553
12773
0.271818
12080
0.271086
10967
0.270357
9858
0.269632
9009
0.26891
8419
0.268192
7842
0.267477
7276
0.266765
7218
0.266056
6635
0.265351
6095
0.264648
5744
0.263949
5440
0.263253
5213
0.262561
4989
0.261871
4969
0.261184
4838
0.260501
4960
0.25982
5006
0.259143
4884
0.258469
4947
0.257797
4923
0.257129
4906
0.256464
4968
0.255801
4979
0.255142
5009
0.254485
4949
0.253831
5093
0.25318
5127
0.252532
5098
0.251887
5037
0.251245
5172
0.250605
5067
0.249969
5158
0.249335
5125
0.248703
5118
0.248075
5156
0.247449
5167
0.246826
5279
0.246206
5095
0.245588
5193
0.244973
5183
0.24436
5290
0.243751
5373
0.243143
5272
0.242539
5386
0.241937
5524
0.241337
5426
0.24074
5243
0.240146
5387
0.239554
5328
0.238964
5463
0.238377
5356
0.237793
5331
0.237211
5364
0.236631
5552
0.236054
5383
0.235479
5459
0.234907
5511
0.234337
5413
0.23377
5592
0.233204
5536
0.232641
5604
0.232081
5466
0.231523
5641
0.230967
5603
0.230413
5625
0.229861
5703
0.229312
5586
0.228765
5633
0.228221
5613
0.227678
5670
0.227138
5743
0.2266
5820
0.226064
5793
0.22553
5973
0.224999
5825
0.224469
5592
0.223942
5754
0.223417
5770
0.222894
5930
0.222373
5819
0.221854
5837
0.221337
5933
0.220822
5883
0.22031
5956
0.219799
5956
0.21929
6105
0.218784
6020
0.218279
6041
0.217777
6001
0.217276
6070
0.216777
6181
0.216281
6020
0.215786
6129
0.215293
6149
0.214802
6159
0.214313
6209
0.213826
6229
0.213341
6115
0.212857
6222
0.212376
6292
0.211896
6249
0.211419
6259
0.210943
6165
0.210469
6194
0.209997
6369
0.209526
6249
0.209058
6274
0.208591
6424
0.208126
6417
0.207663
6442
0.207201
6386
0.206741
6564
0.206283
6540
0.205827
6543
0.205373
6603
0.20492
6473
0.204469
6497
0.204019
6659
0.203572
6611
0.203126
6654
0.202681
6488
0.202239
6668
0.201798
6763
0.201358
6592
0.200921
6719
0.200484
6716
0.20005
6652
0.199617
6858
0.199186
6941
0.198756
6722
0.198328
6778
0.197901
6715
0.197477
6883
0.197053
6903
0.196631
6791
0.196211
7084
0.195792
6971
0.195375
6954
0.194959
6949
0.194545
6957
0.194132
7005
0.193721
6921
0.193312
6984
0.192903
7080
0.192497
6996
0.192091
7119
0.191688
7112
0.191285
6981
0.190884
7182
0.190485
7233
0.190087
7220
0.18969
7136
0.189295
7178
0.188901
7260
0.188509
7353
0.188118
7243
0.187728
7331
0.18734
7278
0.186953
7459
0.186568
7409
0.186184
7285
0.185801
7439
0.185419
7470
0.185039
7433
0.184661
7446
0.184283
7518
0.183907
7523
0.183532
7599
0.183159
7651
0.182787
7430
0.182416
7651
0.182046
7748
0.181678
7812
0.181311
7603
0.180945
7746
0.180581
7616
0.180217
7607
0.179855
7753
0.179495
7752
0.179135
7770
0.178777
7759
0.17842
7829
0.178064
7929
0.177709
7879
0.177356
7835
0.177004
7923
0.176653
8009
0.176303
7699
0.175954
7937
0.175607
7848
0.175261
7904
0.174916
8020
0.174572
8066
0.174229
8093
0.173887
8084
0.173547
8050
0.173207
8118
0.172869
8220
0.172532
8188
0.172196
8167
0.171861
8045
0.171528
8158
0.171195
8341
0.170864
8274
0.170533
8186
0.170204
8383
0.169876
8247
0.169548
8258
0.169222
8421
0.168897
8302
0.168574
8598
0.168251
8535
0.167929
8303
0.167608
8479
0.167288
8354
0.16697
8333
0.166652
8290
0.166336
8593
0.16602
8544
0.165706
8568
0.165392
8607
0.16508
8570
0.164768
8677
0.164458
8595
0.164148
8876
0.16384
8617
0.163532
8593
0.163226
8825
0.16292
8855
0.162616
8820
0.162312
8879
0.16201
8935
0.161708
8860
0.161407
8843
0.161108
8875
0.160809
8911
0.160511
9018
0.160214
8986
0.159918
8956
0.159623
9027
0.159329
8907
0.159036
9110
0.158744
9044
0.158453
9093
0.158162
9055
0.157873
9078
0.157584
9345
0.157297
9063
0.15701
9214
0.156724
9394
0.156439
9242
0.156155
9427
0.155872
9212
0.15559
9155
0.155308
9491
0.155028
9494
0.154748
9295
0.154469
9370
0.154191
9554
0.153914
9429
0.153638
9463
0.153362
9469
0.153088
9651
0.152814
9630
0.152541
9672
0.152269
9591
0.151998
9538
0.151727
9621
0.151458
9791
0.151189
9711
0.150921
9810
0.150654
9718
0.150388
9767
0.150122
9827
0.149858
9808
0.149594
10076
0.149331
9874
0.149068
9944
0.148807
9897
0.148546
9824
0.148286
9964
0.148027
10114
0.147768
9957
0.147511
9912
0.147254
10025
0.146998
10121
0.146742
10146
0.146488
10188
0.146234
10276
0.145981
9989
0.145729
10185
0.145477
10211
0.145226
10286
0.144976
10339
0.144727
10499
0.144478
10353
0.14423
10316
0.143983
10141
0.143737
10587
0.143491
10381
0.143246
10443
0.143002
10499
0.142758
10445
0.142515
10556
0.142273
10595
0.142032
10518
0.141791
10563
0.141551
10664
0.141312
10735
0.141073
10673
0.140835
10840
0.140598
10717
0.140361
10757
0.140125
11095
0.13989
10814
0.139656
10896
0.139422
10815
0.139189
10920
0.138956
10960
0.138724
10816
0.138493
11007
0.138262
11142
0.138032
11327
0.137803
11220
0.137575
11043
0.137347
11175
0.137119
11218
0.136893
11351
0.136667
11371
0.136441
11451
0.136217
11368
0.135993
11670
0.135769
11559
0.135546
11529
0.135324
11414
0.135103
11543
0.134882
11463
0.134661
11579
0.134441
11670
0.134222
11565
0.134004
11620
0.133786
11653
0.133569
11715
0.133352
11747
0.133136
11954
0.13292
11782
0.132706
11885
0.132491
11989
0.132278
12080
0.132064
12003
0.131852
11935
0.13164
12129
0.131429
12215
0.131218
12017
0.131008
12185
0.130798
12133
0.130589
12367
0.130381
12334
0.130173
12399
0.129965
12448
0.129759
12479
0.129552
12464
0.129347
12542
0.129142
12494
0.128937
12763
0.128733
12651
0.12853
12688
0.128327
12933
0.128125
12706
0.127923
12880
0.127722
12799
0.127521
12814
0.127321
12939
0.127121
13027
0.126922
12909
0.126723
13212
0.126525
13162
0.126328
13148
0.126131
13198
0.125935
13168
0.125739
13354
0.125543
13430
0.125348
13504
0.125154
13626
0.12496
13449
0.124767
13679
0.124574
13663
0.124382
13586
0.12419
13801
0.123999
13992
0.123808
13823
0.123618
14160
0.123428
14199
0.123239
13984
0.12305
14331
0.122862
14280
0.122674
14160
0.122487
14224
0.1223
14601
0.122114
14681
0.121928
14628
0.121742
14953
0.121558
14785
0.121373
14925
0.121189
14924
0.121006
15196
0.120823
15177
0.12064
15151
0.120458
15214
0.120277
15028
0.120096
15193
0.119915
15209
0.119735
15367
0.119555
15592
0.119376
15814
0.119197
15826
0.119019
15894
0.118841
15782
0.118664
15820
0.118487
15571
0.118311
16040
0.118135
15914
0.117959
16482
0.117784
16334
0.117609
16878
0.117435
17341
0.117261
17511
0.117088
17884
0.116915
17902
0.116742
17973
0.11657
18030
0.116399
18429
0.116228
18751
0.116057
18071
0.115887
17587
0.115717
17348
0.115547
17146
0.115378
16892
0.11521
16880
0.115041
16508
0.114874
16257
0.114706
16190
0.114539
15800
0.114373
15294
0.114207
15119
0.114041
14634
0.113876
14529
0.113711
14454
0.113546
14530
0.113382
14573
0.113219
14583
0.113055
15518
0.112893
19589
0.11273
43252
0.112568
93377
0.112406
79937
0.112245
32426
0.112084
17023
0.111924
14466
0.111764
13754
0.111604
13521
0.111445
13381
0.111286
13025
0.111128
13210
0.110969
13329
0.110812
12918
0.110654
13094
0.110497
12930
0.110341
13327
0.110185
13026
0.110029
13251
0.109873
13265
0.109718
13275
0.109564
13166
0.109409
13202
0.109255
13236
0.109102
13106
0.108949
13304
0.108796
13388
0.108643
13175
0.108491
13256
0.108339
13184
0.108188
13110
0.108037
13615
0.107886
13474
0.107736
13231
0.107586
13479
0.107437
13272
0.107287
13388
0.107139
13361
0.10699
13654
0.106842
13669
0.106694
13639
0.106547
13631
0.1064
13627
0.106253
13358
0.106106
13562
0.10596
13535
0.105815
13690
0.105669
13585
0.105524
13759
0.105379
13729
0.105235
13805
0.105091
13517
0.104947
13773
0.104804
13716
0.104661
13746
0.104518
13761
0.104376
13795
0.104234
13914
0.104092
14063
0.103951
13948
0.10381
13724
0.103669
13906
0.103529
14065
0.103389
14011
0.103249
13858
0.10311
13903
0.102971
13687
0.102832
13726
0.102693
13969
0.102555
14152
0.102418
14286
0.10228
13821
0.102143
14440
0.102006
14241
0.10187
13988
0.101733
14192
0.101597
14272
0.101462
14713
0.101327
14674
0.101192
14104
0.101057
13951
0.100923
14300
0.100789
14094
0.100655
14197
0.100521
14126
0.100388
14067
0.100255
14277
0.100123
14208
0.0999906
14206
0.0998586
14414
0.099727
14264
0.0995957
14375
0.0994646
14548
0.0993339
14352
0.0992034
14219
0.0990732
14345
0.0989434
14492
0.0988138
14520
0.0986845
14732
0.0985555
14389
0.0984268
14518
0.0982984
14632
0.0981702
14714
0.0980424
14479
0.0979148
14610
0.0977875
14527
0.0976605
14732
0.0975338
14559
0.0974074
14736
0.0972812
14614
0.0971554
14792
0.0970298
14755
0.0969044
14866
0.0967794
14630
0.0966546
14763
0.0965302
14759
0.0964059
14655
0.096282
14746
0.0961583
15063
0.0960349
14748
0.0959118
15105
0.095789
14960
0.0956664
15049
0.0955441
15129
0.095422
14959
0.0953002
14879
0.0951787
14957
0.0950575
15067
0.0949365
14860
0.0948158
15269
0.0946953
15117
0.0945751
14903
0.0944552
15297
0.0943355
15152
0.0942161
15016
0.094097
15378
0.0939781
15469
0.0938594
15975
0.093741
16238
0.0936229
15672
0.093505
15366
0.0933874
15206
0.0932701
15337
0.0931529
15085
0.0930361
15418
0.0929195
15493
0.0928031
15338
0.092687
15333
0.0925712
15385
0.0924555
15363
0.0923402
15375
0.0922251
15430
0.0921102
15471
0.0919956
15752
0.0918812
15569
0.091767
15485
0.0916531
15599
0.0915395
15504
0.0914261
15491
0.0913129
15418
0.0912
15742
0.0910873
15881
0.0909748
15848
0.0908626
15880
0.0907506
15674
0.0906389
16178
0.0905274
15929
0.0904161
15715
0.0903051
15731
0.0901943
15812
0.0900837
15708
0.0899734
15883
0.0898632
15909
0.0897534
15833
0.0896437
15928
0.0895343
15929
0.0894251
16306
0.0893162
16214
0.0892074
15989
0.0890989
16034
0.0889906
16276
0.0888826
16189
0.0887747
16449
0.0886671
16231
0.0885598
16110
0.0884526
16302
0.0883457
16129
0.0882389
16263
0.0881324
16291
0.0880262
16393
0.0879201
16525
0.0878143
16364
0.0877087
16707
0.0876033
16516
0.0874981
16804
0.0873931
16648
0.0872884
16662
0.0871838
16598
0.0870795
16559
0.0869754
16612
0.0868715
16800
0.0867678
17000
0.0866643
16897
0.0865611
16954
0.086458
16894
0.0863552
16814
0.0862526
16704
0.0861501
17122
0.0860479
17008
0.0859459
17046
0.0858441
17287
0.0857425
17199
0.0856411
17258
0.08554
17214
0.085439
17489
0.0853382
17148
0.0852376
17594
0.0851373
17490
0.0850371
17461
0.0849372
17611
0.0848374
17728
0.0847378
17356
0.0846385
17613
0.0845393
17879
0.0844404
17694
0.0843416
17548
0.084243
17695
0.0841447
18120
0.0840465
17493
0.0839485
18018
0.0838507
17859
0.0837532
17880
0.0836558
18033
0.0835586
17830
0.0834616
17932
0.0833648
18119
0.0832682
18273
0.0831717
18208
0.0830755
18192
0.0829795
18060
0.0828836
18003
0.0827879
18129
0.0826925
18056
0.0825972
17918
0.0825021
18002
0.0824072
17886
0.0823125
17944
0.0822179
17796
0.0821236
17814
0.0820294
18158
0.0819354
18288
0.0818416
18605
0.081748
19426
0.0816546
21109
0.0815614
25581
0.0814683
35042
0.0813754
33157
0.0812827
21324
0.0811902
18320
0.0810979
17987
0.0810057
17958
0.0809137
18067
0.0808219
18069
0.0807303
18064
0.0806389
18019
0.0805476
17990
0.0804565
18196
0.0803656
18333
0.0802749
18181
0.0801843
18139
0.0800939
18146
0.0800037
18278
0.0799137
18161
0.0798238
18375
0.0797341
18399
0.0796446
18601
0.0795553
18593
0.0794661
18553
0.0793771
18551
0.0792883
18796
0.0791996
18738
0.0791111
18949
0.0790228
18612
0.0789346
19158
0.0788466
19113
0.0787588
19227
0.0786712
19232
0.0785837
19488
0.0784964
19289
0.0784092
19460
0.0783222
19444
0.0782354
19466
0.0781488
19290
0.0780623
19548
0.077976
19940
0.0778898
19936
0.0778038
20010
0.077718
20079
0.0776323
19802
0.0775468
20102
0.0774614
20391
0.0773762
20279
0.0772912
20171
0.0772063
20424
0.0771216
20630
0.0770371
20642
0.0769527
20635
0.0768684
20877
0.0767844
20739
0.0767005
20741
0.0766167
20707
0.0765331
21098
0.0764496
20921
0.0763663
21260
0.0762832
21082
0.0762002
21577
0.0761174
21406
0.0760347
21519
0.0759522
21815
0.0758698
22169
0.0757876
21911
0.0757056
22402
0.0756237
22576
0.0755419
22699
0.0754603
22191
0.0753789
22592
0.0752975
22276
0.0752164
22326
0.0751354
22525
0.0750545
22463
0.0749738
22471
0.0748933
22522
0.0748129
22671
0.0747326
23123
0.0746525
23322
0.0745725
23276
0.0744927
24013
0.074413
24153
0.0743335
24452
0.0742541
24796
0.0741749
24805
0.0740958
24800
0.0740169
24774
0.0739381
24330
0.0738594
24258
0.0737809
23890
0.0737025
23707
0.0736243
23605
0.0735462
24252
0.0734683
23916
0.0733905
24117
0.0733128
24611
0.0732353
25157
0.0731579
26088
0.0730807
26397
0.0730036
27048
0.0729266
27828
0.0728498
28808
0.0727731
28702
0.0726965
28256
0.0726201
27429
0.0725439
26537
0.0724677
25539
0.0723917
24591
0.0723159
24229
0.0722401
24122
0.0721646
23946
0.0720891
23956
0.0720138
24446
0.0719386
25052
0.0718636
25945
0.0717886
27033
0.0717139
28737
0.0716392
31164
0.0715647
34434
0.0714903
37038
0.0714161
35679
0.071342
32600
0.071268
28246
0.0711941
24928
0.0711204
22799
0.0710468
21323
0.0709733
20245
0.0709
19520
0.0708268
19309
0.0707537
19220
0.0706808
19612
0.070608
20011
0.0705353
22716
0.0704627
26853
0.0703903
28235
0.070318
30123
0.0702458
50302
0.0701738
83994
0.0701019
55695
0.0700301
24963
0.0699584
17802
0.0698869
15514
0.0698154
14499
0.0697441
13646
0.069673
13234
0.0696019
13062
0.069531
13083
0.0694602
13069
0.0693896
13459
0.069319
13463
0.0692486
14089
0.0691783
14914
0.0691081
15460
0.069038
15952
0.0689681
16536
0.0688983
15889
0.0688286
15258
0.068759
14067
0.0686896
13388
0.0686202
12517
0.068551
11978
0.0684819
11649
0.0684129
11363
0.0683441
11494
0.0682753
11567
0.0682067
11952
0.0681382
12389
0.0680698
13032
0.0680016
13949
0.0679334
15784
0.0678654
18848
0.0677975
21934
0.0677297
22729
0.067662
20046
0.0675944
15453
0.067527
12110
0.0674597
9565
0.0673924
8366
0.0673253
7328
0.0672583
6725
0.0671915
6491
0.0671247
6133
0.067058
5862
0.0669915
5721
0.0669251
6994
0.0668588
12272
0.0667926
13327
0.0667265
8924
0.0666605
16166
0.0665947
60412
0.0665289
62802
0.0664633
10144
0.0663977
2466
0.0663323
1834
0.066267
1553
0.0662018
1471
0.0661367
1276
0.0660718
1249
0.0660069
1202
0.0659421
1175
0.0658775
1176
0.0658129
1168
0.0657485
1109
0.0656842
1198
0.06562
1179
0.0655559
1166
0.0654919
1185
0.065428
1178
0.0653642
1144
0.0653005
1163
0.0652369
1238
0.0651735
1226
0.0651101
1248
0.0650468
1162
0.0649837
1200
0.0649206
1208
0.0648577
1176
0.0647949
1227
0.0647321
1218
0.0646695
1131
0.064607
1197
0.0645445
1187
0.0644822
1176
0.06442
1176
0.0643579
1206
0.0642959
1258
0.064234
1300
0.0641722
1286
0.0641105
1347
0.0640489
1315
0.0639874
1291
0.063926
1387
0.0638647
1297
0.0638035
1355
0.0637424
1369
0.0636814
1391
0.0636205
1345
0.0635597
1320
0.063499
1331
0.0634384
1286
0.0633779
1339
0.0633175
1372
0.0632572
1388
0.063197
1535
0.0631369
1446
0.0630768
1561
0.0630169
1555
0.0629571
1536
0.0628974
1571
0.0628378
1517
0.0627783
1595
0.0627188
1598
0.0626595
1536
0.0626003
1449
0.0625411
1506
0.0624821
1436
0.0624232
1463
0.0623643
1430
0.0623056
1450
0.0622469
1556
0.0621883
1697
0.0621299
1763
0.0620715
2088
0.0620132
2446
0.061955
2963
0.0618969
3355
0.0618389
3267
0.061781
2668
0.0617232
1958
0.0616655
1654
0.0616078
1588
0.0615503
1482
0.0614928
1388
0.0614355
1143
0.0613782
1096
0.061321
1132
0.061264
1247
0.061207
1413
0.0611501
1461
0.0610933
1650
0.0610365
1913
0.0609799
1945
0.0609234
1943
0.0608669
2201
0.0608106
2214
0.0607543
1668
0.0606981
1304
0.060642
1479
0.060586
1498
0.0605301
1262
0.0604743
630
0.0604186
206
0.0603629
53
0.0603073
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
100
4.00E-06
0
0
0
0
1002
42
7183
0.0988127
0.10275
2969
0.10275
3092
0.102742
2975
0.102734
2987
0.102726
2996
0.102718
3028
0.10271
3140
0.102701
2954
0.102693
2997
0.102685
3047
0.102677
2967
0.102669
3044
0.102661
2990
0.102653
3034
0.102644
3092
0.102636
2977
0.102628
3044
0.10262
3051
0.102612
2918
0.102604
3037
0.102595
3038
0.102587
3001
0.102579
3012
0.102571
3027
0.102563
3005
0.102555
3010
0.102547
3035
0.102538
2919
0.10253
2902
0.102522
2931
0.102514
2855
0.102506
2958
0.102498
2916
0.10249
2833
0.102482
2832
0.102473
2913
0.102465
2857
0.102457
2899
0.102449
2824
0.102441
2890
0.102433
2874
0.102425
2737
0.102417
2859
0.102408
2849
0.1024
2809
0.102392
2841
0.102384
2895
0.102376
2740
0.102368
2778
0.10236
2899
0.102352
2824
0.102344
2777
0.102335
2757
0.102327
2663
0.102319
2787
0.102311
2812
0.102303
2788
0.102295
2795
0.102287
2774
0.102279
2707
0.102271
2750
0.102263
2830
0.102254
2792
0.102246
2802
0.102238
2880
0.10223
2875
0.102222
2824
0.102214
2892
0.102206
2767
0.102198
2963
0.10219
2913
0.102182
2954
0.102174
2912
0.102165
2886
0.102157
2970
0.102149
2901
0.102141
3018
0.102133
2990
0.102125
3000
0.102117
2966
0.102109
2976
0.102101
3036
0.102093
2988
0.102085
2996
0.102077
2998
0.102069
3057
0.102061
3136
0.102052
3120
0.102044
3200
0.102036
3173
0.102028
3189
0.10202
3133
0.102012
3193
0.102004
3254
0.101996
3291
0.101988
3309
0.10198
3309
0.101972
3450
0.101964
3375
0.101956
3433
0.101948
3495
0.10194
3585
0.101932
3562
0.101924
3607
0.101916
3610
0.101907
3783
0.101899
3804
0.101891
3736
0.101883
3862
0.101875
3958
0.101867
3915
0.101859
3911
0.101851
3935
0.101843
4135
0.101835
4274
0.101827
4265
0.101819
4474
0.101811
4443
0.101803
4567
0.101795
4694
0.101787
4812
0.101779
4754
0.101771
4903
0.101763
5044
0.101755
5251
0.101747
5471
0.101739
5570
0.101731
5648
0.101723
5755
0.101715
5752
0.101707
5837
0.101699
6019
0.101691
6240
0.101683
6120
0.101675
6527
0.101667
6511
0.101659
6585
0.101651
6582
0.101643
6856
0.101635
6876
0.101627
6925
0.101619
6878
0.101611
7086
0.101603
7170
0.101595
7073
0.101587
7070
0.101579
7121
0.101571
7183
0.101563
7024
0.101555
6868
0.101547
6751
0.101539
6583
0.101531
6552
0.101523
6358
0.101515
6162
0.101507
5819
0.101499
5849
0.101491
5497
0.101483
5183
0.101475
5141
0.101467
4953
0.101459
4697
0.101451
4506
0.101443
4358
0.101435
4176
0.101427
4188
0.101419
4038
0.101411
3881
0.101403
3907
0.101395
3839
0.101387
3663
0.101379
3556
0.101371
3492
0.101363
3441
0.101355
3503
0.101347
3358
0.101339
3335
0.101331
3330
0.101323
3287
0.101315
3181
0.101308
3166
0.1013
3209
0.101292
3236
0.101284
3031
0.101276
3118
0.101268
3086
0.10126
3058
0.101252
3085
0.101244
3052
0.101236
2946
0.101228
2992
0.10122
2990
0.101212
2967
0.101204
3130
0.101196
3013
0.101188
2886
0.10118
2876
0.101172
2962
0.101165
2830
0.101157
2920
0.101149
2855
0.101141
2726
0.101133
2813
0.101125
2855
0.101117
2783
0.101109
2717
0.101101
2664
0.101093
2686
0.101085
2612
0.101077
2671
0.101069
2598
0.101061
2589
0.101054
2460
0.101046
2440
0.101038
2422
0.10103
2353
0.101022
2416
0.101014
2400
0.101006
2256
0.100998
2257
0.10099
2172
0.100982
2182
0.100974
2107
0.100967
2095
0.100959
2115
0.100951
2047
0.100943
2155
0.100935
2142
0.100927
2037
0.100919
1955
0.100911
1948
0.100903
1949
0.100895
1983
0.100888
1926
0.10088
1967
0.100872
1940
0.100864
1968
0.100856
2018
0.100848
2082
0.10084
2159
0.100832
2200
0.100824
2120
0.100817
2307
0.100809
2339
0.100801
2320
0.100793
2395
0.100785
2396
0.100777
2481
0.100769
2586
0.100761
2522
0.100754
2637
0.100746
2606
0.100738
2518
0.10073
2639
0.100722
2669
0.100714
2719
0.100706
2709
0.100698
2775
0.100691
2715
0.100683
2695
0.100675
2883
0.100667
2772
0.100659
2783
0.100651
2729
0.100643
2764
0.100636
2877
0.100628
2738
0.10062
2747
0.100612
2855
0.100604
2848
0.100596
2866
0.100588
2898
0.100581
2944
0.100573
3045
0.100565
3093
0.100557
3163
0.100549
3193
0.100541
3291
0.100533
3254
0.100526
3426
0.100518
3532
0.10051
3613
0.100502
3649
0.100494
3837
0.100486
3753
0.100479
3724
0.100471
3899
0.100463
3757
0.100455
4039
0.100447
3916
0.100439
3996
0.100432
3933
0.100424
3957
0.100416
3886
0.100408
3889
0.1004
3942
0.100393
4042
0.100385
3863
0.100377
3901
0.100369
4019
0.100361
3867
0.100353
4017
0.100346
4006
0.100338
3997
0.10033
3944
0.100322
4010
0.100314
3857
0.100307
3849
0.100299
3859
0.100291
3977
0.100283
3999
0.100275
3945
0.100268
3944
0.10026
3932
0.100252
4227
0.100244
4357
0.100236
4334
0.100229
4325
0.100221
4625
0.100213
4833
0.100205
4919
0.100197
5075
0.10019
5259
0.100182
5089
0.100174
5006
0.100166
4766
0.100158
4737
0.100151
4577
0.100143
4469
0.100135
4369
0.100127
4130
0.100119
3999
0.100112
3819
0.100104
3656
0.100096
3495
0.100088
3263
0.100081
3120
0.100073
3043
0.100065
2885
0.100057
2684
0.100049
2672
0.100042
2534
0.100034
2354
0.100026
2422
0.100018
2425
0.100011
2350
0.100003
2574
0.0999951
2831
0.0999873
2816
0.0999796
2842
0.0999718
2842
0.0999641
3019
0.0999563
2993
0.0999485
2960
0.0999408
2969
0.099933
2927
0.0999253
3001
0.0999175
3092
0.0999098
3139
0.099902
3164
0.0998943
3274
0.0998865
3282
0.0998788
3231
0.099871
3216
0.0998633
3305
0.0998555
3286
0.0998478
3194
0.0998401
3184
0.0998323
3036
0.0998246
2990
0.0998168
3014
0.0998091
2906
0.0998014
2841
0.0997936
2836
0.0997859
2617
0.0997782
2523
0.0997704
2415
0.0997627
2394
0.099755
2223
0.0997472
1959
0.0997395
1889
0.0997318
1708
0.0997241
1492
0.0997163
1259
0.0997086
1141
0.0997009
1062
0.0996932
868
0.0996855
757
0.0996777
665
0.09967
507
0.0996623
397
0.0996546
369
0.0996469
272
0.0996392
236
0.0996315
167
0.0996237
127
0.099616
99
0.0996083
113
0.0996006
94
0.0995929
99
0.0995852
107
0.0995775
88
0.0995698
81
0.0995621
83
0.0995544
75
0.0995467
79
0.099539
64
0.0995313
66
0.0995236
90
0.0995159
70
0.0995082
75
0.0995005
63
0.0994928
63
0.0994851
65
0.0994775
53
0.0994698
66
0.0994621
62
0.0994544
71
0.0994467
61
0.099439
54
0.0994313
70
0.0994237
68
0.099416
64
0.0994083
53
0.0994006
62
0.099393
67
0.0993853
45
0.0993776
58
0.0993699
64
0.0993623
57
0.0993546
76
0.0993469
57
0.0993392
58
0.0993316
52
0.0993239
65
0.0993162
68
0.0993086
59
0.0993009
74
0.0992933
47
0.0992856
66
0.0992779
62
0.0992703
69
0.0992626
47
0.099255
70
0.0992473
56
0.0992396
79
0.099232
58
0.0992243
66
0.0992167
61
0.099209
59
0.0992014
52
0.0991937
52
0.0991861
61
0.0991784
68
0.0991708
48
0.0991632
59
0.0991555
83
0.0991479
60
0.0991402
64
0.0991326
68
0.099125
50
0.0991173
62
0.0991097
61
0.099102
73
0.0990944
59
0.0990868
62
0.0990791
65
0.0990715
56
0.0990639
57
0.0990563
59
0.0990486
57
0.099041
73
0.0990334
63
0.0990258
56
0.0990181
51
0.0990105
67
0.0990029
59
0.0989953
65
0.0989877
57
0.09898
60
0.0989724
60
0.0989648
51
0.0989572
73
0.0989496
51
0.098942
60
0.0989344
49
0.0989267
61
0.0989191
57
0.0989115
51
0.0989039
55
0.0988963
69
0.0988887
73
0.0988811
49
0.0988735
50
0.0988659
44
0.0988583
57
0.0988507
42
0.0988431
58
0.0988355
48
0.0988279
56
0.0988203
59
0.0988127
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
240
25174
0.107612
0.10851
1134
0.10851
1070
0.108505
1093
0.108501
1142
0.108496
1097
0.108492
1084
0.108487
1080
0.108483
1078
0.108478
1118
0.108473
1039
0.108469
1081
0.108464
1111
0.10846
1072
0.108455
1076
0.108451
1016
0.108446
1029
0.108442
1146
0.108437
1051
0.108433
996
0.108428
980
0.108424
1099
0.108419
1049
0.108415
1023
0.10841
1037
0.108406
1031
0.108401
1061
0.108397
1003
0.108392
1028
0.108388
1004
0.108383
1038
0.108379
1051
0.108374
1072
0.10837
1043
0.108365
1074
0.108361
1181
0.108356
1176
0.108352
1182
0.108347
1220
0.108343
1257
0.108338
1326
0.108334
1406
0.108329
1335
0.108325
1393
0.10832
1560
0.108315
1542
0.108311
1665
0.108306
1730
0.108302
1743
0.108297
1933
0.108293
2017
0.108288
2106
0.108284
2251
0.108279
2322
0.108275
2389
0.10827
2488
0.108266
2654
0.108261
2831
0.108257
2785
0.108252
3048
0.108248
2998
0.108243
3162
0.108239
3080
0.108234
3281
0.10823
3367
0.108225
3375
0.108221
3364
0.108216
3475
0.108212
3353
0.108207
3329
0.108203
3395
0.108198
3254
0.108194
3256
0.108189
3270
0.108185
3104
0.10818
2918
0.108176
2919
0.108171
2792
0.108167
2758
0.108162
2630
0.108158
2553
0.108153
2347
0.108149
2263
0.108144
2141
0.10814
1995
0.108135
1931
0.108131
1825
0.108126
1821
0.108122
1719
0.108118
1610
0.108113
1560
0.108109
1465
0.108104
1440
0.1081
1357
0.108095
1368
0.108091
1301
0.108086
1272
0.108082
1229
0.108077
1174
0.108073
1148
0.108068
1149
0.108064
1153
0.108059
1143
0.108055
1150
0.10805
1119
0.108046
1099
0.108041
1136
0.108037
1177
0.108032
1191
0.108028
1248
0.108023
1252
0.108019
1273
0.108014
1240
0.10801
1370
0.108005
1491
0.108001
1481
0.107996
1656
0.107992
1739
0.107987
1698
0.107983
1938
0.107978
2134
0.107974
2244
0.107969
2482
0.107965
2904
0.107961
3170
0.107956
3670
0.107952
4188
0.107947
4855
0.107943
5679
0.107938
6676
0.107934
7700
0.107929
8918
0.107925
10413
0.10792
11725
0.107916
12883
0.107911
14398
0.107907
15534
0.107902
16629
0.107898
17390
0.107893
18337
0.107889
19001
0.107884
19191
0.10788
19852
0.107875
20582
0.107871
21527
0.107867
22461
0.107862
23413
0.107858
24556
0.107853
24908
0.107849
25174
0.107844
24870
0.10784
23859
0.107835
21965
0.107831
19925
0.107826
17512
0.107822
14978
0.107817
12474
0.107813
9778
0.107808
7771
0.107804
5907
0.107799
4508
0.107795
3385
0.107791
2690
0.107786
1991
0.107782
1597
0.107777
1349
0.107773
1079
0.107768
934
0.107764
922
0.107759
786
0.107755
688
0.10775
611
0.107746
568
0.107741
583
0.107737
538
0.107732
506
0.107728
501
0.107724
476
0.107719
433
0.107715
464
0.10771
425
0.107706
378
0.107701
375
0.107697
369
0.107692
362
0.107688
374
0.107683
349
0.107679
314
0.107675
285
0.10767
308
0.107666
272
0.107661
284
0.107657
300
0.107652
299
0.107648
297
0.107643
250
0.107639
259
0.107634
260
0.10763
244
0.107625
258
0.107621
240
0.107617
270
0.107612
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.72
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
402
76
9651
0.143926
0.14497
367
0.14497
390
0.144964
316
0.144959
361
0.144954
393
0.144949
355
0.144943
349
0.144938
368
0.144933
360
0.144928
305
0.144922
318
0.144917
383
0.144912
318
0.144907
308
0.144901
321
0.144896
330
0.144891
321
0.144886
350
0.14488
321
0.144875
323
0.14487
314
0.144865
359
0.144859
305
0.144854
320
0.144849
319
0.144844
297
0.144838
308
0.144833
337
0.144828
344
0.144823
340
0.144817
335
0.144812
351
0.144807
338
0.144802
335
0.144796
317
0.144791
350
0.144786
341
0.144781
365
0.144775
401
0.14477
395
0.144765
416
0.14476
450
0.144754
448
0.144749
455
0.144744
462
0.144739
475
0.144734
587
0.144728
617
0.144723
617
0.144718
620
0.144713
656
0.144707
663
0.144702
740
0.144697
808
0.144692
803
0.144686
839
0.144681
854
0.144676
885
0.144671
954
0.144665
961
0.14466
1008
0.144655
1036
0.14465
1062
0.144645
997
0.144639
1107
0.144634
1078
0.144629
1065
0.144624
1076
0.144618
1104
0.144613
1075
0.144608
1110
0.144603
1028
0.144597
1017
0.144592
1006
0.144587
947
0.144582
888
0.144577
879
0.144571
847
0.144566
827
0.144561
719
0.144556
732
0.14455
723
0.144545
628
0.14454
586
0.144535
579
0.14453
547
0.144524
535
0.144519
509
0.144514
484
0.144509
468
0.144503
426
0.144498
419
0.144493
428
0.144488
395
0.144483
376
0.144477
354
0.144472
352
0.144467
326
0.144462
346
0.144456
359
0.144451
323
0.144446
296
0.144441
323
0.144436
325
0.14443
311
0.144425
301
0.14442
309
0.144415
326
0.14441
330
0.144404
344
0.144399
366
0.144394
397
0.144389
376
0.144383
387
0.144378
475
0.144373
476
0.144368
462
0.144363
527
0.144357
560
0.144352
557
0.144347
629
0.144342
736
0.144337
790
0.144331
864
0.144326
1011
0.144321
1197
0.144316
1342
0.144311
1569
0.144305
1907
0.1443
2356
0.144295
2774
0.14429
3441
0.144285
3879
0.144279
4510
0.144274
5181
0.144269
5489
0.144264
5947
0.144259
6143
0.144253
6231
0.144248
6191
0.144243
6113
0.144238
6207
0.144233
6311
0.144227
6681
0.144222
7259
0.144217
7854
0.144212
8539
0.144207
9224
0.144201
9651
0.144196
9618
0.144191
9164
0.144186
8165
0.144181
7052
0.144175
5630
0.14417
4313
0.144165
3201
0.14416
2352
0.144155
1574
0.144149
1115
0.144144
807
0.144139
613
0.144134
510
0.144129
372
0.144123
302
0.144118
268
0.144113
218
0.144108
234
0.144103
176
0.144097
174
0.144092
159
0.144087
145
0.144082
132
0.144077
108
0.144071
118
0.144066
102
0.144061
131
0.144056
117
0.144051
96
0.144046
113
0.14404
94
0.144035
100
0.14403
92
0.144025
95
0.14402
82
0.144014
118
0.144009
98
0.144004
99
0.143999
114
0.143994
104
0.143988
98
0.143983
91
0.143978
87
0.143973
85
0.143968
82
0.143963
105
0.143957
99
0.143952
89
0.143947
85
0.143942
76
0.143937
94
0.143931
91
0.143926
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
14.32
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
40
4.00E-06
0
0
0
0
402
49
3571
0.379376
0.380749
129
0.380749
129
0.380742
138
0.380735
136
0.380728
145
0.380721
132
0.380714
143
0.380707
124
0.3807
141
0.380693
136
0.380687
116
0.38068
141
0.380673
125
0.380666
133
0.380659
148
0.380652
133
0.380645
142
0.380638
111
0.380631
128
0.380625
115
0.380618
132
0.380611
121
0.380604
132
0.380597
142
0.38059
133
0.380583
123
0.380576
139
0.380569
113
0.380563
103
0.380556
127
0.380549
143
0.380542
146
0.380535
146
0.380528
104
0.380521
123
0.380514
161
0.380507
150
0.380501
142
0.380494
147
0.380487
179
0.38048
142
0.380473
139
0.380466
186
0.380459
172
0.380452
181
0.380445
177
0.380439
212
0.380432
199
0.380425
236
0.380418
221
0.380411
231
0.380404
241
0.380397
254
0.38039
290
0.380384
278
0.380377
289
0.38037
295
0.380363
323
0.380356
333
0.380349
360
0.380342
351
0.380335
351
0.380328
363
0.380322
392
0.380315
369
0.380308
346
0.380301
359
0.380294
362
0.380287
363
0.38028
368
0.380273
361
0.380267
341
0.38026
321
0.380253
354
0.380246
330
0.380239
296
0.380232
299
0.380225
298
0.380219
281
0.380212
261
0.380205
239
0.380198
211
0.380191
209
0.380184
228
0.380177
220
0.38017
211
0.380164
211
0.380157
183
0.38015
184
0.380143
154
0.380136
143
0.380129
156
0.380122
165
0.380115
138
0.380109
137
0.380102
140
0.380095
118
0.380088
142
0.380081
109
0.380074
123
0.380067
124
0.380061
111
0.380054
128
0.380047
119
0.38004
102
0.380033
123
0.380026
115
0.380019
120
0.380013
130
0.380006
139
0.379999
128
0.379992
126
0.379985
150
0.379978
142
0.379971
151
0.379965
147
0.379958
163
0.379951
195
0.379944
146
0.379937
179
0.37993
189
0.379923
189
0.379917
217
0.37991
241
0.379903
261
0.379896
340
0.379889
336
0.379882
398
0.379875
516
0.379869
641
0.379862
861
0.379855
1050
0.379848
1308
0.379841
1598
0.379834
1811
0.379827
1991
0.379821
2104
0.379814
2050
0.379807
1898
0.3798
1818
0.379793
1640
0.379786
1608
0.37978
1728
0.379773
1990
0.379766
2373
0.379759
2781
0.379752
3277
0.379745
3430
0.379738
3571
0.379732
3465
0.379725
3100
0.379718
2533
0.379711
1857
0.379704
1451
0.379697
960
0.379691
717
0.379684
463
0.379677
297
0.37967
212
0.379663
186
0.379656
137
0.37965
120
0.379643
118
0.379636
99
0.379629
77
0.379622
85
0.379615
70
0.379608
98
0.379602
81
0.379595
69
0.379588
90
0.379581
63
0.379574
75
0.379567
62
0.379561
74
0.379554
61
0.379547
55
0.37954
60
0.379533
62
0.379526
60
0.37952
58
0.379513
72
0.379506
70
0.379499
66
0.379492
57
0.379485
77
0.379479
72
0.379472
54
0.379465
49
0.379458
57
0.379451
63
0.379444
63
0.379438
68
0.379431
62
0.379424
68
0.379417
72
0.37941
66
0.379404
49
0.379397
59
0.37939
64
0.379383
58
0.379376
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
160
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
802
4953
46657
0.111573
0.11351
7637
0.11351
7691
0.113505
7617
0.1135
7733
0.113495
7608
0.11349
7571
0.113485
7544
0.11348
7626
0.113475
7681
0.11347
7732
0.113466
7694
0.113461
7679
0.113456
7502
0.113451
7457
0.113446
7597
0.113441
7654
0.113436
7596
0.113431
7659
0.113426
7639
0.113421
7588
0.113416
7513
0.113412
7580
0.113407
7696
0.113402
7551
0.113397
7541
0.113392
7796
0.113387
7671
0.113382
7758
0.113377
7562
0.113372
7479
0.113367
7491
0.113362
7598
0.113358
7571
0.113353
7730
0.113348
7674
0.113343
7613
0.113338
7622
0.113333
7598
0.113328
7671
0.113323
7567
0.113318
7739
0.113313
7623
0.113308
7654
0.113304
7625
0.113299
7664
0.113294
7578
0.113289
7617
0.113284
7556
0.113279
7643
0.113274
7746
0.113269
7756
0.113264
7792
0.113259
7861
0.113255
7675
0.11325
7762
0.113245
7893
0.11324
7777
0.113235
7941
0.11323
7762
0.113225
7599
0.11322
7766
0.113215
7981
0.11321
7859
0.113206
7931
0.113201
7967
0.113196
8007
0.113191
8007
0.113186
8106
0.113181
8122
0.113176
8299
0.113171
8274
0.113166
8250
0.113162
8149
0.113157
8277
0.113152
8614
0.113147
8423
0.113142
8515
0.113137
8738
0.113132
8692
0.113127
8970
0.113122
9004
0.113118
8885
0.113113
9213
0.113108
9301
0.113103
9506
0.113098
9479
0.113093
9485
0.113088
9785
0.113083
10019
0.113078
10088
0.113074
10231
0.113069
10496
0.113064
10536
0.113059
10434
0.113054
10675
0.113049
10753
0.113044
10708
0.113039
11156
0.113034
11050
0.11303
11059
0.113025
11210
0.11302
11439
0.113015
11409
0.11301
11681
0.113005
11603
0.113
11651
0.112995
11665
0.112991
11602
0.112986
11721
0.112981
11443
0.112976
11465
0.112971
11656
0.112966
11574
0.112961
11516
0.112956
11592
0.112952
11561
0.112947
11239
0.112942
11363
0.112937
11210
0.112932
11249
0.112927
11385
0.112922
11124
0.112917
10999
0.112913
11158
0.112908
11113
0.112903
10869
0.112898
10657
0.112893
10862
0.112888
10601
0.112883
10792
0.112878
10649
0.112874
10529
0.112869
10618
0.112864
10687
0.112859
10795
0.112854
10616
0.112849
10787
0.112844
10859
0.11284
11063
0.112835
11086
0.11283
10963
0.112825
11196
0.11282
11317
0.112815
11169
0.11281
11665
0.112805
11807
0.112801
12002
0.112796
12188
0.112791
12463
0.112786
12681
0.112781
12894
0.112776
13458
0.112771
13679
0.112767
14229
0.112762
14369
0.112757
15096
0.112752
15581
0.112747
16451
0.112742
16995
0.112737
17750
0.112733
18530
0.112728
19600
0.112723
20259
0.112718
21399
0.112713
22458
0.112708
24171
0.112703
25179
0.112699
27031
0.112694
28589
0.112689
30357
0.112684
32220
0.112679
33912
0.112674
36404
0.112669
37858
0.112665
39942
0.11266
41802
0.112655
43076
0.11265
44813
0.112645
45726
0.11264
46401
0.112636
46657
0.112631
46619
0.112626
45836
0.112621
45298
0.112616
44339
0.112611
42535
0.112606
40316
0.112602
38828
0.112597
36504
0.112592
34468
0.112587
32365
0.112582
29940
0.112577
27845
0.112572
25835
0.112568
23816
0.112563
22497
0.112558
20922
0.112553
19439
0.112548
18405
0.112543
17189
0.112539
16183
0.112534
15323
0.112529
14435
0.112524
13818
0.112519
13315
0.112514
12792
0.11251
12137
0.112505
11591
0.1125
11109
0.112495
10823
0.11249
10421
0.112485
10099
0.112481
9948
0.112476
9304
0.112471
9345
0.112466
8995
0.112461
8980
0.112456
8662
0.112452
8395
0.112447
8334
0.112442
8050
0.112437
8084
0.112432
7809
0.112427
7812
0.112423
7652
0.112418
7501
0.112413
7451
0.112408
7388
0.112403
7301
0.112398
7210
0.112394
6996
0.112389
6931
0.112384
7023
0.112379
6781
0.112374
6724
0.112369
6732
0.112365
6688
0.11236
6627
0.112355
6434
0.11235
6400
0.112345
6442
0.11234
6304
0.112336
6486
0.112331
6276
0.112326
6418
0.112321
6217
0.112316
6185
0.112311
6105
0.112307
6156
0.112302
6136
0.112297
6037
0.112292
6040
0.112287
5995
0.112283
6022
0.112278
5946
0.112273
5877
0.112268
5944
0.112263
5701
0.112258
5846
0.112254
5847
0.112249
5710
0.112244
5713
0.112239
5809
0.112234
5675
0.11223
5770
0.112225
5705
0.11222
5704
0.112215
5574
0.11221
5673
0.112205
5619
0.112201
5678
0.112196
5500
0.112191
5471
0.112186
5488
0.112181
5518
0.112177
5530
0.112172
5520
0.112167
5436
0.112162
5433
0.112157
5518
0.112153
5450
0.112148
5363
0.112143
5344
0.112138
5403
0.112133
5411
0.112128
5261
0.112124
5373
0.112119
5325
0.112114
5177
0.112109
5266
0.112104
5318
0.1121
5237
0.112095
5234
0.11209
5278
0.112085
5309
0.11208
5234
0.112076
5216
0.112071
5335
0.112066
5112
0.112061
5276
0.112056
5270
0.112052
5203
0.112047
5187
0.112042
5220
0.112037
5207
0.112032
5271
0.112028
5337
0.112023
5246
0.112018
5086
0.112013
5233
0.112008
5194
0.112004
5199
0.111999
5153
0.111994
5216
0.111989
5188
0.111984
5222
0.11198
5152
0.111975
5194
0.11197
5159
0.111965
5133
0.11196
5006
0.111956
5034
0.111951
5216
0.111946
5144
0.111941
5157
0.111936
5196
0.111932
5258
0.111927
5067
0.111922
5206
0.111917
5080
0.111912
5140
0.111908
5155
0.111903
5028
0.111898
5164
0.111893
5100
0.111889
5067
0.111884
5114
0.111879
5075
0.111874
5180
0.111869
5298
0.111865
5008
0.11186
5190
0.111855
5121
0.11185
5136
0.111845
5127
0.111841
5072
0.111836
5051
0.111831
5163
0.111826
5170
0.111822
5164
0.111817
5063
0.111812
5123
0.111807
4953
0.111802
5035
0.111798
5001
0.111793
5095
0.111788
4997
0.111783
4980
0.111778
5117
0.111774
4979
0.111769
5057
0.111764
5090
0.111759
5185
0.111755
5183
0.11175
5180
0.111745
5235
0.11174
5131
0.111735
5086
0.111731
5232
0.111726
5127
0.111721
5105
0.111716
5117
0.111712
5135
0.111707
5049
0.111702
5056
0.111697
5142
0.111692
5289
0.111688
5139
0.111683
5211
0.111678
5203
0.111673
5216
0.111669
5262
0.111664
5202
0.111659
5243
0.111654
5246
0.11165
5156
0.111645
5210
0.11164
5178
0.111635
5193
0.11163
5255
0.111626
5310
0.111621
5273
0.111616
5230
0.111611
5219
0.111607
5319
0.111602
5342
0.111597
5340
0.111592
5254
0.111588
5260
0.111583
5278
0.111578
5299
0.111573
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_7
data_7
-1
Binding energy
eV
295
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
5552
0.125986
0.128421
217
0.128421
115
0.128414
203
0.128408
258
0.128402
223
0.128396
276
0.12839
185
0.128383
64
0.128377
171
0.128371
191
0.128365
250
0.128359
232
0.128352
92
0.128346
189
0.12834
145
0.128334
163
0.128328
125
0.128321
150
0.128315
85
0.128309
178
0.128303
118
0.128297
123
0.128291
151
0.128284
118
0.128278
204
0.128272
216
0.128266
125
0.12826
209
0.128253
158
0.128247
54
0.128241
82
0.128235
142
0.128229
73
0.128223
287
0.128216
186
0.12821
211
0.128204
77
0.128198
216
0.128192
118
0.128185
169
0.128179
230
0.128173
71
0.128167
221
0.128161
178
0.128155
118
0.128148
170
0.128142
204
0.128136
165
0.12813
255
0.128124
185
0.128118
216
0.128111
136
0.128105
242
0.128099
187
0.128093
74
0.128087
239
0.128081
219
0.128074
99
0.128068
78
0.128062
250
0.128056
283
0.12805
259
0.128044
98
0.128037
108
0.128031
166
0.128025
153
0.128019
120
0.128013
220
0.128007
109
0.128
131
0.127994
103
0.127988
124
0.127982
123
0.127976
204
0.12797
110
0.127963
157
0.127957
145
0.127951
163
0.127945
205
0.127939
164
0.127933
241
0.127927
254
0.12792
188
0.127914
151
0.127908
226
0.127902
133
0.127896
205
0.12789
230
0.127884
241
0.127877
309
0.127871
193
0.127865
212
0.127859
233
0.127853
282
0.127847
261
0.12784
409
0.127834
365
0.127828
370
0.127822
291
0.127816
438
0.12781
288
0.127804
301
0.127797
308
0.127791
291
0.127785
271
0.127779
481
0.127773
367
0.127767
389
0.127761
483
0.127755
417
0.127748
383
0.127742
364
0.127736
369
0.12773
409
0.127724
442
0.127718
330
0.127712
356
0.127705
479
0.127699
434
0.127693
357
0.127687
548
0.127681
332
0.127675
510
0.127669
488
0.127663
398
0.127656
519
0.12765
415
0.127644
519
0.127638
546
0.127632
602
0.127626
482
0.12762
466
0.127614
546
0.127607
459
0.127601
600
0.127595
538
0.127589
694
0.127583
651
0.127577
719
0.127571
685
0.127565
799
0.127558
738
0.127552
744
0.127546
756
0.12754
844
0.127534
923
0.127528
969
0.127522
1034
0.127516
990
0.127509
1036
0.127503
1083
0.127497
1104
0.127491
1240
0.127485
1294
0.127479
1418
0.127473
1388
0.127467
1497
0.127461
1504
0.127454
1572
0.127448
1447
0.127442
1449
0.127436
1586
0.12743
1581
0.127424
1575
0.127418
1708
0.127412
1558
0.127406
1883
0.127399
1988
0.127393
1927
0.127387
2259
0.127381
2338
0.127375
2586
0.127369
2476
0.127363
2719
0.127357
2804
0.127351
3209
0.127345
3411
0.127338
3412
0.127332
3862
0.127326
4035
0.12732
4210
0.127314
4394
0.127308
4614
0.127302
4921
0.127296
5191
0.12729
5284
0.127284
5440
0.127277
5552
0.127271
5432
0.127265
5505
0.127259
5379
0.127253
5362
0.127247
5190
0.127241
5426
0.127235
5057
0.127229
4825
0.127223
4664
0.127217
4316
0.12721
3972
0.127204
3783
0.127198
3368
0.127192
3219
0.127186
2803
0.12718
2417
0.127174
2331
0.127168
2094
0.127162
1877
0.127156
1562
0.12715
1416
0.127144
1310
0.127137
1008
0.127131
919
0.127125
800
0.127119
800
0.127113
652
0.127107
615
0.127101
523
0.127095
465
0.127089
408
0.127083
528
0.127077
370
0.127071
335
0.127065
273
0.127058
225
0.127052
206
0.127046
196
0.12704
203
0.127034
254
0.127028
235
0.127022
247
0.127016
264
0.12701
197
0.127004
115
0.126998
205
0.126992
171
0.126986
232
0.12698
168
0.126973
217
0.126967
71
0.126961
228
0.126955
171
0.126949
125
0.126943
114
0.126937
102
0.126931
81
0.126925
107
0.126919
250
0.126913
124
0.126907
283
0.126901
195
0.126895
187
0.126889
62
0.126883
191
0.126876
0
0.12687
73
0.126864
65
0.126858
58
0.126852
85
0.126846
129
0.12684
125
0.126834
104
0.126828
125
0.126822
167
0.126816
138
0.12681
248
0.126804
208
0.126798
182
0.126792
184
0.126786
45
0.12678
133
0.126774
114
0.126768
105
0.126761
86
0.126755
190
0.126749
197
0.126743
91
0.126737
209
0.126731
180
0.126725
142
0.126719
190
0.126713
170
0.126707
31
0.126701
88
0.126695
71
0.126689
244
0.126683
43
0.126677
192
0.126671
157
0.126665
120
0.126659
243
0.126653
185
0.126647
143
0.126641
41
0.126635
156
0.126629
121
0.126622
73
0.126616
172
0.12661
155
0.126604
160
0.126598
72
0.126592
139
0.126586
206
0.12658
183
0.126574
173
0.126568
124
0.126562
134
0.126556
138
0.12655
183
0.126544
160
0.126538
161
0.126532
146
0.126526
191
0.12652
198
0.126514
145
0.126508
167
0.126502
189
0.126496
162
0.12649
124
0.126484
201
0.126478
142
0.126472
226
0.126466
194
0.12646
192
0.126454
240
0.126448
204
0.126442
76
0.126436
137
0.12643
78
0.126424
270
0.126418
128
0.126412
157
0.126406
164
0.1264
176
0.126394
109
0.126388
52
0.126381
154
0.126375
101
0.126369
256
0.126363
209
0.126357
216
0.126351
158
0.126345
145
0.126339
183
0.126333
191
0.126327
146
0.126321
178
0.126315
222
0.126309
207
0.126303
226
0.126297
126
0.126291
188
0.126285
153
0.126279
214
0.126273
121
0.126267
144
0.126261
104
0.126255
291
0.126249
245
0.126243
156
0.126237
241
0.126231
278
0.126225
312
0.126219
148
0.126213
200
0.126207
121
0.126201
124
0.126195
129
0.126189
134
0.126183
244
0.126177
225
0.126171
116
0.126165
174
0.126159
161
0.126153
158
0.126147
199
0.126141
243
0.126135
152
0.126129
141
0.126123
135
0.126117
156
0.126111
226
0.126105
115
0.126099
163
0.126093
158
0.126087
161
0.126081
127
0.126075
174
0.126069
207
0.126063
297
0.126058
125
0.126052
217
0.126046
251
0.12604
206
0.126034
147
0.126028
111
0.126022
134
0.126016
236
0.12601
118
0.126004
236
0.125998
206
0.125992
217
0.125986
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_8
data_8
-1
Binding energy
eV
540
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
802
1328
14235
0.163362
0.167337
1670
0.167337
1691
0.167327
1635
0.167317
1612
0.167307
1568
0.167297
1506
0.167287
1559
0.167276
1562
0.167266
1556
0.167256
1621
0.167246
1593
0.167236
1626
0.167226
1627
0.167216
1654
0.167205
1599
0.167195
1669
0.167185
1513
0.167175
1596
0.167165
1679
0.167155
1639
0.167144
1629
0.167134
1598
0.167124
1565
0.167114
1664
0.167104
1583
0.167094
1638
0.167084
1662
0.167074
1550
0.167063
1638
0.167053
1571
0.167043
1562
0.167033
1680
0.167023
1603
0.167013
1600
0.167003
1587
0.166992
1569
0.166982
1642
0.166972
1588
0.166962
1653
0.166952
1584
0.166942
1585
0.166932
1700
0.166922
1684
0.166911
1656
0.166901
1569
0.166891
1636
0.166881
1651
0.166871
1585
0.166861
1554
0.166851
1605
0.166841
1552
0.166831
1592
0.16682
1615
0.16681
1666
0.1668
1623
0.16679
1536
0.16678
1612
0.16677
1610
0.16676
1602
0.16675
1608
0.16674
1630
0.16673
1663
0.166719
1585
0.166709
1659
0.166699
1687
0.166689
1663
0.166679
1544
0.166669
1666
0.166659
1601
0.166649
1607
0.166639
1609
0.166629
1650
0.166619
1608
0.166609
1607
0.166598
1717
0.166588
1737
0.166578
1724
0.166568
1723
0.166558
1747
0.166548
1744
0.166538
1611
0.166528
1776
0.166518
1702
0.166508
1742
0.166498
1720
0.166488
1703
0.166478
1850
0.166467
1775
0.166457
1725
0.166447
1770
0.166437
1846
0.166427
1789
0.166417
1788
0.166407
1879
0.166397
1928
0.166387
1869
0.166377
2013
0.166367
2005
0.166357
1985
0.166347
2095
0.166337
2232
0.166327
2188
0.166317
2279
0.166307
2413
0.166297
2515
0.166286
2453
0.166276
2720
0.166266
2797
0.166256
2927
0.166246
3100
0.166236
3273
0.166226
3396
0.166216
3688
0.166206
3914
0.166196
4146
0.166186
4571
0.166176
4768
0.166166
5200
0.166156
5587
0.166146
5950
0.166136
6304
0.166126
6631
0.166116
7313
0.166106
7730
0.166096
8309
0.166086
8960
0.166076
9353
0.166066
9915
0.166056
10518
0.166046
11070
0.166036
11473
0.166026
12196
0.166016
12393
0.166006
12985
0.165996
13445
0.165986
13611
0.165976
13987
0.165966
14145
0.165956
13996
0.165946
14235
0.165936
14080
0.165926
13839
0.165916
13802
0.165906
13605
0.165896
13192
0.165886
12830
0.165876
12116
0.165866
11973
0.165856
11616
0.165846
11156
0.165836
10550
0.165826
10079
0.165816
9489
0.165806
8942
0.165796
8648
0.165786
8052
0.165776
7656
0.165766
7356
0.165756
6810
0.165746
6398
0.165736
6084
0.165726
5874
0.165716
5325
0.165706
5006
0.165696
4824
0.165686
4406
0.165676
4123
0.165666
3932
0.165656
3593
0.165646
3476
0.165636
3216
0.165626
3055
0.165616
2835
0.165606
2778
0.165596
2643
0.165586
2552
0.165576
2436
0.165566
2284
0.165556
2260
0.165546
2128
0.165536
2097
0.165526
2125
0.165516
2053
0.165506
1940
0.165496
1854
0.165486
1884
0.165476
1830
0.165467
1806
0.165457
1771
0.165447
1748
0.165437
1696
0.165427
1712
0.165417
1755
0.165407
1702
0.165397
1689
0.165387
1695
0.165377
1615
0.165367
1654
0.165357
1671
0.165347
1668
0.165337
1665
0.165327
1542
0.165317
1591
0.165307
1597
0.165297
1531
0.165288
1543
0.165278
1581
0.165268
1501
0.165258
1519
0.165248
1535
0.165238
1503
0.165228
1530
0.165218
1602
0.165208
1562
0.165198
1435
0.165188
1599
0.165178
1441
0.165168
1473
0.165159
1474
0.165149
1554
0.165139
1487
0.165129
1526
0.165119
1485
0.165109
1467
0.165099
1525
0.165089
1436
0.165079
1441
0.165069
1502
0.165059
1482
0.165049
1496
0.16504
1423
0.16503
1486
0.16502
1513
0.16501
1438
0.165
1463
0.16499
1474
0.16498
1476
0.16497
1495
0.16496
1494
0.16495
1465
0.164941
1514
0.164931
1451
0.164921
1461
0.164911
1469
0.164901
1487
0.164891
1473
0.164881
1474
0.164871
1473
0.164861
1460
0.164852
1465
0.164842
1414
0.164832
1445
0.164822
1362
0.164812
1514
0.164802
1436
0.164792
1475
0.164782
1457
0.164773
1463
0.164763
1506
0.164753
1424
0.164743
1395
0.164733
1428
0.164723
1382
0.164713
1501
0.164703
1469
0.164694
1392
0.164684
1488
0.164674
1497
0.164664
1497
0.164654
1396
0.164644
1457
0.164634
1503
0.164625
1492
0.164615
1435
0.164605
1395
0.164595
1454
0.164585
1426
0.164575
1467
0.164565
1458
0.164556
1475
0.164546
1496
0.164536
1489
0.164526
1489
0.164516
1433
0.164506
1473
0.164496
1474
0.164487
1438
0.164477
1491
0.164467
1429
0.164457
1453
0.164447
1446
0.164437
1477
0.164428
1464
0.164418
1400
0.164408
1385
0.164398
1475
0.164388
1394
0.164378
1540
0.164369
1467
0.164359
1476
0.164349
1397
0.164339
1472
0.164329
1486
0.164319
1452
0.16431
1416
0.1643
1431
0.16429
1407
0.16428
1527
0.16427
1483
0.164261
1468
0.164251
1418
0.164241
1422
0.164231
1460
0.164221
1500
0.164211
1411
0.164202
1470
0.164192
1475
0.164182
1468
0.164172
1439
0.164162
1419
0.164153
1437
0.164143
1474
0.164133
1530
0.164123
1485
0.164113
1482
0.164104
1534
0.164094
1513
0.164084
1401
0.164074
1476
0.164064
1475
0.164055
1494
0.164045
1407
0.164035
1422
0.164025
1453
0.164015
1504
0.164006
1389
0.163996
1328
0.163986
1408
0.163976
1446
0.163966
1405
0.163957
1372
0.163947
1459
0.163937
1396
0.163927
1492
0.163918
1411
0.163908
1486
0.163898
1458
0.163888
1458
0.163878
1490
0.163869
1427
0.163859
1399
0.163849
1439
0.163839
1454
0.16383
1524
0.16382
1441
0.16381
1514
0.1638
1509
0.163791
1387
0.163781
1493
0.163771
1474
0.163761
1443
0.163751
1492
0.163742
1482
0.163732
1478
0.163722
1517
0.163712
1430
0.163703
1424
0.163693
1422
0.163683
1447
0.163673
1409
0.163664
1397
0.163654
1419
0.163644
1442
0.163634
1486
0.163625
1485
0.163615
1457
0.163605
1434
0.163595
1523
0.163586
1509
0.163576
1393
0.163566
1394
0.163556
1474
0.163547
1472
0.163537
1464
0.163527
1347
0.163517
1450
0.163508
1484
0.163498
1501
0.163488
1492
0.163479
1482
0.163469
1518
0.163459
1496
0.163449
1436
0.16344
1454
0.16343
1434
0.16342
1401
0.16341
1434
0.163401
1425
0.163391
1451
0.163381
1471
0.163372
1493
0.163362
(analyzed polished surface as rec'd)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437  90 TOA
2003
5
10
14
59
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_9
data_9
-1
Binding energy
eV
290
-0.2
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
20
4.00E-06
0
0
0
0
2002
183
24497
0.106992
0.127804
3872
0.127804
3797
0.127779
3969
0.127755
3899
0.12773
4035
0.127705
3989
0.127681
4015
0.127656
4013
0.127632
4022
0.127607
4237
0.127583
4268
0.127558
4459
0.127534
4581
0.127509
4821
0.127485
4916
0.127461
5231
0.127436
5292
0.127412
5765
0.127387
6167
0.127363
7246
0.127338
8130
0.127314
8821
0.12729
9020
0.127265
8611
0.127241
7661
0.127217
6440
0.127192
5503
0.127168
4755
0.127144
4282
0.127119
3955
0.127095
3916
0.127071
3720
0.127046
3742
0.127022
3628
0.126998
3675
0.126973
3657
0.126949
3760
0.126925
3626
0.126901
3680
0.126876
3583
0.126852
3577
0.126828
3730
0.126804
3653
0.12678
3667
0.126755
3660
0.126731
3692
0.126707
3673
0.126683
3645
0.126659
3473
0.126635
3664
0.12661
3665
0.126586
3607
0.126562
3661
0.126538
3505
0.126514
3651
0.12649
3760
0.126466
3679
0.126442
3805
0.126418
3708
0.126394
3677
0.126369
3655
0.126345
3693
0.126321
3648
0.126297
3703
0.126273
3626
0.126249
3696
0.126225
3756
0.126201
3681
0.126177
3808
0.126153
3750
0.126129
3631
0.126105
3568
0.126081
3652
0.126058
3634
0.126034
3750
0.12601
3626
0.125986
3587
0.125962
3776
0.125938
3704
0.125914
3612
0.12589
3702
0.125866
3635
0.125842
3697
0.125819
3702
0.125795
3689
0.125771
3762
0.125747
3734
0.125723
3755
0.125699
3735
0.125676
3787
0.125652
3859
0.125628
3733
0.125604
3709
0.12558
3705
0.125557
3748
0.125533
3694
0.125509
3655
0.125485
3725
0.125462
3649
0.125438
3757
0.125414
3714
0.12539
3643
0.125367
3731
0.125343
3682
0.125319
3791
0.125296
3799
0.125272
3831
0.125248
3777
0.125225
3686
0.125201
3714
0.125177
3765
0.125154
3797
0.12513
3663
0.125107
3765
0.125083
3800
0.125059
3846
0.125036
3835
0.125012
3722
0.124989
3677
0.124965
3785
0.124942
3701
0.124918
3731
0.124894
3646
0.124871
3854
0.124847
3866
0.124824
3700
0.1248
3832
0.124777
3786
0.124753
3815
0.12473
3765
0.124707
3801
0.124683
3766
0.12466
3832
0.124636
3785
0.124613
3701
0.124589
3826
0.124566
3811
0.124542
3780
0.124519
3823
0.124496
3756
0.124472
3835
0.124449
3770
0.124426
3922
0.124402
3828
0.124379
3996
0.124355
3868
0.124332
3835
0.124309
3795
0.124285
3910
0.124262
3800
0.124239
3865
0.124216
3824
0.124192
3852
0.124169
3729
0.124146
3730
0.124122
3963
0.124099
3956
0.124076
3844
0.124053
3792
0.12403
3900
0.124006
3875
0.123983
3911
0.12396
3919
0.123937
3900
0.123913
3827
0.12389
3884
0.123867
3908
0.123844
3946
0.123821
3954
0.123798
3927
0.123775
3807
0.123751
3931
0.123728
3875
0.123705
3903
0.123682
4101
0.123659
3900
0.123636
3815
0.123613
3878
0.12359
3864
0.123567
3769
0.123544
3899
0.12352
3924
0.123497
3984
0.123474
3898
0.123451
3926
0.123428
3915
0.123405
4101
0.123382
3887
0.123359
3829
0.123336
3929
0.123313
3838
0.12329
3878
0.123267
3883
0.123244
4029
0.123222
4054
0.123199
4052
0.123176
4001
0.123153
3939
0.12313
3902
0.123107
3945
0.123084
3965
0.123061
3878
0.123038
4012
0.123015
3892
0.122992
3929
0.12297
3953
0.122947
3890
0.122924
4078
0.122901
3942
0.122878
3901
0.122855
3881
0.122833
3931
0.12281
4016
0.122787
3971
0.122764
3924
0.122741
4019
0.122719
3954
0.122696
3970
0.122673
4068
0.12265
3912
0.122628
4017
0.122605
4092
0.122582
3936
0.122559
4072
0.122537
4070
0.122514
4087
0.122491
4115
0.122469
3962
0.122446
4065
0.122423
4132
0.122401
4052
0.122378
4033
0.122355
4022
0.122333
3959
0.12231
4007
0.122287
3978
0.122265
4069
0.122242
4040
0.12222
4109
0.122197
4096
0.122174
4112
0.122152
4038
0.122129
3984
0.122107
3948
0.122084
4017
0.122062
4145
0.122039
4035
0.122017
4127
0.121994
4160
0.121972
4142
0.121949
4094
0.121927
4185
0.121904
4194
0.121882
4030
0.121859
4050
0.121837
4148
0.121814
4173
0.121792
4047
0.121769
4221
0.121747
4181
0.121724
4190
0.121702
4211
0.12168
4061
0.121657
4079
0.121635
4130
0.121612
4166
0.12159
4237
0.121568
4111
0.121545
4215
0.121523
4194
0.121501
4201
0.121478
4189
0.121456
4284
0.121434
4234
0.121411
4106
0.121389
4178
0.121367
4233
0.121344
4140
0.121322
4157
0.1213
4174
0.121277
4287
0.121255
4208
0.121233
4156
0.121211
4152
0.121188
4247
0.121166
4258
0.121144
4266
0.121122
4185
0.121099
4218
0.121077
4289
0.121055
4239
0.121033
4149
0.121011
4250
0.120989
4174
0.120966
4249
0.120944
4198
0.120922
4206
0.1209
4257
0.120878
4170
0.120856
4305
0.120834
4207
0.120811
4172
0.120789
4315
0.120767
4163
0.120745
4379
0.120723
4255
0.120701
4234
0.120679
4270
0.120657
4229
0.120635
4277
0.120613
4364
0.120591
4383
0.120569
4352
0.120547
4236
0.120525
4207
0.120503
4369
0.120481
4371
0.120459
4355
0.120437
4368
0.120415
4474
0.120393
4378
0.120371
4409
0.120349
4335
0.120327
4426
0.120305
4290
0.120283
4266
0.120261
4331
0.120239
4401
0.120217
4448
0.120195
4446
0.120173
4403
0.120151
4535
0.12013
4415
0.120108
4456
0.120086
4473
0.120064
4445
0.120042
4406
0.12002
4499
0.119998
4470
0.119977
4464
0.119955
4514
0.119933
4402
0.119911
4614
0.119889
4474
0.119867
4599
0.119846
4526
0.119824
4544
0.119802
4535
0.11978
4454
0.119759
4557
0.119737
4505
0.119715
4645
0.119693
4469
0.119672
4347
0.11965
4446
0.119628
4433
0.119607
4497
0.119585
4607
0.119563
4597
0.119541
4490
0.11952
4580
0.119498
4505
0.119476
4409
0.119455
4664
0.119433
4520
0.119412
4461
0.11939
4428
0.119368
4431
0.119347
4467
0.119325
4493
0.119303
4465
0.119282
4374
0.11926
4360
0.119239
4591
0.119217
4505
0.119196
4417
0.119174
4555
0.119152
4479
0.119131
4394
0.119109
4528
0.119088
4469
0.119066
4456
0.119045
4662
0.119023
4471
0.119002
4550
0.11898
4471
0.118959
4589
0.118937
4443
0.118916
4417
0.118894
4538
0.118873
4491
0.118851
4597
0.11883
4582
0.118809
4565
0.118787
4592
0.118766
4506
0.118744
4524
0.118723
4492
0.118702
4462
0.11868
4664
0.118659
4566
0.118637
4681
0.118616
4767
0.118595
4680
0.118573
4730
0.118552
4570
0.118531
4633
0.118509
4614
0.118488
4786
0.118467
4707
0.118445
4667
0.118424
4747
0.118403
4807
0.118381
4652
0.11836
4727
0.118339
4855
0.118318
4769
0.118296
4839
0.118275
4847
0.118254
4815
0.118233
4953
0.118211
4900
0.11819
4823
0.118169
4895
0.118148
4968
0.118126
4937
0.118105
4942
0.118084
5032
0.118063
4990
0.118042
4956
0.118021
5042
0.117999
4965
0.117978
4939
0.117957
5037
0.117936
4953
0.117915
4981
0.117894
4913
0.117873
5008
0.117851
5102
0.11783
5080
0.117809
5093
0.117788
5115
0.117767
4973
0.117746
5099
0.117725
5081
0.117704
4926
0.117683
4972
0.117662
4887
0.117641
4954
0.11762
4894
0.117599
4978
0.117578
4876
0.117557
4851
0.117536
4915
0.117515
4762
0.117494
4826
0.117473
4885
0.117452
4814
0.117431
4809
0.11741
4662
0.117389
4723
0.117368
4770
0.117347
4750
0.117326
4697
0.117305
4755
0.117284
4729
0.117263
4864
0.117242
4826
0.117221
4703
0.1172
4801
0.117179
4830
0.117159
4759
0.117138
4726
0.117117
4899
0.117096
4880
0.117075
4737
0.117054
4835
0.117033
4802
0.117013
4770
0.116992
4821
0.116971
4803
0.11695
4818
0.116929
4917
0.116909
4918
0.116888
4751
0.116867
4991
0.116846
4851
0.116825
4979
0.116805
4750
0.116784
4870
0.116763
4987
0.116742
5066
0.116722
4935
0.116701
4930
0.11668
5012
0.116659
5110
0.116639
4978
0.116618
5025
0.116597
5056
0.116577
5167
0.116556
5176
0.116535
5186
0.116515
5209
0.116494
5288
0.116473
5245
0.116453
5366
0.116432
5365
0.116411
5353
0.116391
5556
0.11637
5325
0.11635
5465
0.116329
5542
0.116308
5570
0.116288
5523
0.116267
5707
0.116247
5775
0.116226
5634
0.116205
5730
0.116185
5806
0.116164
5834
0.116144
5861
0.116123
5906
0.116103
5869
0.116082
5737
0.116062
5746
0.116041
5816
0.116021
5855
0.116
5848
0.11598
5744
0.115959
5641
0.115939
5693
0.115918
5565
0.115898
5525
0.115877
5459
0.115857
5447
0.115836
5502
0.115816
5363
0.115796
5201
0.115775
5297
0.115755
5248
0.115734
5179
0.115714
5129
0.115693
5040
0.115673
5077
0.115653
5016
0.115632
4984
0.115612
4980
0.115592
4971
0.115571
4906
0.115551
4874
0.115531
4812
0.11551
4786
0.11549
4839
0.11547
4801
0.115449
4778
0.115429
4899
0.115409
4751
0.115388
4775
0.115368
4785
0.115348
4655
0.115328
4807
0.115307
4784
0.115287
4795
0.115267
4734
0.115246
4766
0.115226
4870
0.115206
4822
0.115186
4823
0.115166
4779
0.115145
4859
0.115125
4913
0.115105
4839
0.115085
4903
0.115065
4868
0.115044
4889
0.115024
4860
0.115004
5081
0.114984
5011
0.114964
5001
0.114944
5045
0.114923
5076
0.114903
5079
0.114883
5225
0.114863
5169
0.114843
5299
0.114823
5386
0.114803
5318
0.114783
5499
0.114762
5457
0.114742
5517
0.114722
5623
0.114702
5728
0.114682
5763
0.114662
5821
0.114642
6056
0.114622
6131
0.114602
6119
0.114582
6321
0.114562
6358
0.114542
6507
0.114522
6778
0.114502
6949
0.114482
7090
0.114462
7211
0.114442
7304
0.114422
7565
0.114402
7346
0.114382
7652
0.114362
7423
0.114342
7441
0.114322
7582
0.114302
7417
0.114282
7375
0.114262
7077
0.114242
6872
0.114222
6699
0.114203
6556
0.114183
6131
0.114163
6066
0.114143
5883
0.114123
5783
0.114103
5543
0.114083
5394
0.114063
5249
0.114044
5081
0.114024
4929
0.114004
4938
0.113984
4798
0.113964
4650
0.113944
4650
0.113925
4607
0.113905
4354
0.113885
4361
0.113865
4288
0.113845
4282
0.113826
4217
0.113806
4172
0.113786
4009
0.113766
4100
0.113746
3979
0.113727
4031
0.113707
3953
0.113687
3868
0.113667
3832
0.113648
3846
0.113628
3956
0.113608
3974
0.113589
3840
0.113569
3775
0.113549
3894
0.11353
3811
0.11351
3816
0.11349
3683
0.11347
3948
0.113451
3769
0.113431
3825
0.113412
3631
0.113392
3783
0.113372
3819
0.113353
3640
0.113333
3906
0.113313
3774
0.113294
3771
0.113274
3933
0.113255
3904
0.113235
3959
0.113215
4040
0.113196
4145
0.113176
4274
0.113157
4274
0.113137
4440
0.113118
4729
0.113098
5007
0.113078
5244
0.113059
5644
0.113039
5724
0.11302
5859
0.113
5831
0.112981
5709
0.112961
5611
0.112942
5610
0.112922
5367
0.112903
5410
0.112883
5397
0.112864
5361
0.112844
5484
0.112825
5911
0.112805
6378
0.112786
7135
0.112767
8292
0.112747
9905
0.112728
12503
0.112708
15443
0.112689
19503
0.112669
22396
0.11265
22654
0.112631
20649
0.112611
16794
0.112592
12472
0.112572
9342
0.112553
7553
0.112534
6147
0.112514
5332
0.112495
4847
0.112476
4289
0.112456
3959
0.112437
3698
0.112418
3519
0.112398
3432
0.112379
3335
0.11236
3223
0.11234
3072
0.112321
3073
0.112302
2988
0.112283
2949
0.112263
2935
0.112244
2781
0.112225
2786
0.112205
2724
0.112186
2662
0.112167
2689
0.112148
2612
0.112128
2653
0.112109
2715
0.11209
2684
0.112071
2551
0.112052
2600
0.112032
2596
0.112013
2557
0.111994
2586
0.111975
2600
0.111956
2628
0.111936
2549
0.111917
2670
0.111898
2486
0.111879
2563
0.11186
2613
0.111841
2537
0.111822
2579
0.111802
2514
0.111783
2514
0.111764
2608
0.111745
2504
0.111726
2596
0.111707
2582
0.111688
2568
0.111669
2583
0.11165
2550
0.11163
2599
0.111611
2643
0.111592
2727
0.111573
2691
0.111554
2589
0.111535
2686
0.111516
2640
0.111497
2719
0.111478
2844
0.111459
2843
0.11144
2780
0.111421
2749
0.111402
2850
0.111383
2948
0.111364
2889
0.111345
2996
0.111326
2919
0.111307
3001
0.111288
3046
0.111269
3073
0.11125
3067
0.111231
3159
0.111212
3136
0.111193
3169
0.111174
3128
0.111155
3152
0.111137
3141
0.111118
3295
0.111099
3260
0.11108
3232
0.111061
3273
0.111042
3201
0.111023
3227
0.111004
3137
0.110985
3168
0.110967
3177
0.110948
3057
0.110929
3050
0.11091
3034
0.110891
3091
0.110872
2944
0.110853
2896
0.110835
2938
0.110816
2836
0.110797
2782
0.110778
2709
0.110759
2629
0.110741
2620
0.110722
2631
0.110703
2630
0.110684
2494
0.110665
2442
0.110647
2457
0.110628
2416
0.110609
2444
0.11059
2322
0.110572
2310
0.110553
2342
0.110534
2353
0.110516
2255
0.110497
2394
0.110478
2264
0.110459
2301
0.110441
2261
0.110422
2204
0.110403
2199
0.110385
2230
0.110366
2246
0.110347
2192
0.110329
2202
0.11031
2180
0.110291
2257
0.110273
2230
0.110254
2230
0.110235
2234
0.110217
2189
0.110198
2316
0.11018
2190
0.110161
2322
0.110142
2313
0.110124
2272
0.110105
2261
0.110087
2277
0.110068
2365
0.110049
2371
0.110031
2342
0.110012
2426
0.109994
2414
0.109975
2414
0.109957
2524
0.109938
2470
0.109919
2478
0.109901
2514
0.109882
2595
0.109864
2530
0.109845
2592
0.109827
2686
0.109808
2655
0.10979
2827
0.109771
2786
0.109753
2907
0.109734
2926
0.109716
2947
0.109698
3143
0.109679
3217
0.109661
3324
0.109642
3471
0.109624
3620
0.109605
3818
0.109587
3958
0.109568
4134
0.10955
4247
0.109532
4465
0.109513
4626
0.109495
4655
0.109476
4690
0.109458
4696
0.10944
4651
0.109421
4757
0.109403
4699
0.109385
4344
0.109366
4287
0.109348
3967
0.109329
3829
0.109311
3546
0.109293
3472
0.109274
3181
0.109256
3048
0.109238
2773
0.109219
2707
0.109201
2473
0.109183
2352
0.109165
2180
0.109146
2227
0.109128
2105
0.10911
2021
0.109091
1846
0.109073
1858
0.109055
1771
0.109037
1716
0.109018
1719
0.109
1539
0.108982
1532
0.108964
1525
0.108945
1513
0.108927
1450
0.108909
1411
0.108891
1373
0.108873
1314
0.108854
1275
0.108836
1273
0.108818
1351
0.1088
1279
0.108782
1257
0.108763
1274
0.108745
1209
0.108727
1226
0.108709
1253
0.108691
1256
0.108673
1238
0.108655
1239
0.108636
1159
0.108618
1214
0.1086
1174
0.108582
1163
0.108564
1125
0.108546
1109
0.108528
1115
0.10851
1096
0.108492
1070
0.108473
1067
0.108455
963
0.108437
1005
0.108419
1062
0.108401
1053
0.108383
1109
0.108365
1224
0.108347
1472
0.108329
1714
0.108311
2063
0.108293
2556
0.108275
2926
0.108257
3274
0.108239
3315
0.108221
3236
0.108203
3099
0.108185
2657
0.108167
2213
0.108149
1798
0.108131
1583
0.108113
1346
0.108095
1218
0.108077
1128
0.108059
1165
0.108041
1279
0.108023
1447
0.108005
1793
0.107987
2735
0.107969
4349
0.107952
8099
0.107934
13190
0.107916
17469
0.107898
20250
0.10788
23615
0.107862
24497
0.107844
17137
0.107826
7744
0.107808
2710
0.107791
1067
0.107773
679
0.107755
536
0.107737
450
0.107719
384
0.107701
362
0.107683
302
0.107666
274
0.107648
269
0.10763
232
0.107612
239
0.107594
239
0.107577
232
0.107559
232
0.107541
196
0.107523
226
0.107505
201
0.107488
222
0.10747
233
0.107452
219
0.107434
221
0.107417
227
0.107399
232
0.107381
210
0.107363
243
0.107346
231
0.107328
233
0.10731
192
0.107292
183
0.107275
188
0.107257
248
0.107239
221
0.107222
196
0.107204
236
0.107186
212
0.107169
199
0.107151
213
0.107133
216
0.107116
196
0.107098
212
0.10708
196
0.107063
229
0.107045
214
0.107027
239
0.10701
226
0.106992
end of experiment
